[中文]: 陶瓷薄膜
[英文]: ceramic film
[说明]: 一种介质薄膜。通过特定的薄膜工艺(如真空蒸发、溅射工艺等),将陶瓷材料做成厚度仅为微米级的薄膜,所制成的薄膜器件用于集成电路、半导体电路技术中。BaTiO3,PbTiO3,PLZT和Bi4Ti3O12等薄膜用于制造大容量薄膜电容器、电光器件、红外探测器和铁电显示器件等。
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